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| Abstandsbelichten; Abstandsbelichtung f; Proximity-Belichtung; Quasikontaktlithografie f | |||
| фотолитография с микрозазором: 14 短语, 2 学科 |
| 微电子学 | 13 |
| 电子产品 | 1 |
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| Abstandsbelichten; Abstandsbelichtung f; Proximity-Belichtung; Quasikontaktlithografie f | |||
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