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реактивное ионное травление 强调
微电子学	reactive ion etching; reactive-ion etching; RIE (Reactive Ion Etch/Etching pansypras)
技术	reactive ion milling
电子产品	ion-assisted plasma etching

реактивное ионное травление: 18 短语, 6 学科

一般	1
媒体	1
微电子学	4
技术	3
电子产品	2
纳米技术	7