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| positioning error; error of position; plane error; stepping error (mask production) | |||
| run-out; runout; runout error (durch Lageverzerrung) | |||
| planimetric error; position error | |||
| positional error | |||
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Lagefehler : 5 短语, 3 学科 |
| 光学（物理学分支） | 1 |
| 微电子学 | 3 |
| 电子产品 | 1 |
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| positioning error; error of position; plane error; stepping error (mask production) | |||
| run-out; runout; runout error (durch Lageverzerrung) | |||
| planimetric error; position error | |||
| positional error | |||
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Lagefehler : 5 短语, 3 学科 |
| 光学（物理学分支） | 1 |
| 微电子学 | 3 |
| 电子产品 | 1 |