| |||
| покрытие ступеньки | |||
| сглаживание ступеньки | |||
| ступенчатое нанесение плёнок (каждый последующий слой по площади меньше предыдущего; поперечное сечение готовой структуры имеет ступенчатую форму) | |||
|
step coverage : 3 短语, 2 学科 |
| 微电子学 | 2 |
| 电子产品 | 1 |
| |||
| покрытие ступеньки | |||
| сглаживание ступеньки | |||
| ступенчатое нанесение плёнок (каждый последующий слой по площади меньше предыдущего; поперечное сечение готовой структуры имеет ступенчатую форму) | |||
|
step coverage : 3 短语, 2 学科 |
| 微电子学 | 2 |
| 电子产品 | 1 |