英语 ⇄ 俄语 +

fine-line technique 强调
技术	технология изготовления ИС с уменьшенными размерами элементов; технология ИС с субмикронными размерами элементов (изготовления); технология ИС с уменьшенными размерами элементов (изготовления); субмикронная технология
马卡罗夫	технология ИС с элементами уменьшенных размеров; технология изготовления ИС с элементами уменьшенных размеров