英语 ⇄ 俄语 +

e-beam writing 强调
微电子学	электронно-лучевое экспонирование (OlgaGast)
纳米技术	электронно-лучевая запись; электронно-лучевой перенос изображения с шаблона на пластину (с резистом); запись электронным пучком