英语 ⇄ 俄语 +

PECVD-process 强调
纳米技术	процесс плазмостимулированного газофазного осаждения; процесс плазмохимического газофазного осаждения; ПХГФО-процесс
PECVD process
纳米技术	процесс плазмостимулированного газофазного выращивания