英语 ⇄ 俄语 +

MEMS-based device 强调
电子产品	прибор на основе микроэлектромеханических систем; устройство на основе микроэлектромеханических систем
纳米技术	МЭМС-устройство; устройство на основе микроэлектромеханической системы