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| vertikale anisotrope Ätzung; VATE-Verfahren n | |||
| vertikales Ätzen; VATE-Technik f | |||
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vertical anisotropic etching : 1 短语, 1 学科 |
| 微电子学 | 1 |
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| vertikale anisotrope Ätzung; VATE-Verfahren n | |||
| vertikales Ätzen; VATE-Technik f | |||
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vertical anisotropic etching : 1 短语, 1 学科 |
| 微电子学 | 1 |