 |
| |||
| kleinste Strukturgrösse | |||
| minimale Strukturgröße | |||
| kleinste Strukturbreite; minimale Elementbreite | |||
| kleinste Strukturgröße | |||
|
minimum feature size : 6 短语, 2 学科 |
| 信息技术 | 2 |
| 微电子学 | 4 |
|
| |||
| kleinste Strukturgrösse | |||
| minimale Strukturgröße | |||
| kleinste Strukturbreite; minimale Elementbreite | |||
| kleinste Strukturgröße | |||
|
minimum feature size : 6 短语, 2 学科 |
| 信息技术 | 2 |
| 微电子学 | 4 |