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| Kenngröße f; Merkmalsgrösse f | |||
| Strukturgröße f; Elementbreite m; Linienbreite f | |||
| Elementbreite m (microcircuits); Strukturgröße f (microcircuits) | |||
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feature size : 32 短语, 4 学科 |
| 一般 | 4 |
| 信息技术 | 2 |
| 微电子学 | 25 |
| 电子产品 | 1 |
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| Kenngröße f; Merkmalsgrösse f | |||
| Strukturgröße f; Elementbreite m; Linienbreite f | |||
| Elementbreite m (microcircuits); Strukturgröße f (microcircuits) | |||
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feature size : 32 短语, 4 学科 |
| 一般 | 4 |
| 信息技术 | 2 |
| 微电子学 | 25 |
| 电子产品 | 1 |