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| Elektronenlithografie Elektronenlithographie | |||
| Elektronenstrahllithographie f | |||
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| Elektronenstrahllithografie f | |||
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electron beam lithography : 10 短语, 3 学科 |
| 一般 | 1 |
| 微电子学 | 8 |
| 计算 | 1 |
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| Elektronenlithografie Elektronenlithographie | |||
| Elektronenstrahllithographie f | |||
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| Elektronenstrahllithografie f | |||
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| 计算 | 1 |