 |
| |||
| barrel-type reactor (для плазменного травления); cylindrical plasma etching reactor (для плазменного травления); cylindrical plasma reactor (для плазменного травления); cylindrical reactor | |||
| барабанный реактор: 5 фраз в 2 тематиках |
| Мікроелектроніка | 2 |
| Техніка | 3 |