| нано |
МГ ФХО-метод; метод модифицированного газофазного химического осаждения; метод модифицированного химического осаждения из газовой фазы; метод модифицированного химического осаждения из паровой фазы; метод модифицированного химического осаждения из газовой мазы; метод модифицированного химического осаждения из паровой мазы |
