 |
| |||
| електронно-променева проекційна літографія; проектування електронного променя (на оброблюваний об'єкт) | |||
|
electron projection : 9 фраз в 2 тематиках |
| Мікроелектроніка | 8 |
| Науковий термін | 1 |
|
| |||
| електронно-променева проекційна літографія; проектування електронного променя (на оброблюваний об'єкт) | |||
|
electron projection : 9 фраз в 2 тематиках |
| Мікроелектроніка | 8 |
| Науковий термін | 1 |