Англійська ⇄ Російська Українська +

fine-pattern geometry наголоси
ел.	геометрия ИС с элементами уменьшенных размеров
мікроел.	геометрия микроструктур с элементами уменьшенных размеров
тех.	геометрия ИС с элементами уменьшенного размера