Англійська ⇄ Китайська Німецька Російська Українська +

direct-write electron-beam lithography наголоси
ел.	электронно-лучевая литография с непосредственным формированием изображений
ЗМІ	бесшаблонное электронно-лучевое экспонирование
мікроел.	электронно-лучевая литография с непосредственным формированием рисунка