Англійська ⇄ Російська Українська +

deposit-substrate interface наголоси
ел.	граница раздела осаждённый слой-подложка; граница раздела подложка-осаждённый слой
мікроел.	граница раздела между осадком и подложкой
нано	граница раздела подложка-осаждаемый слой