scattering with angular limitation projection electron-beam lithography | technique

technique
заг.	Methode; Technik; Einsatztechnik
пак.	Verpackungsmethode; Verpackungstechnik
політ.	Arbeitsweise
хім.	Technik; Verfahren
юр.	Verfahren
techniques
тех.	Mittel

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