 |
| |||
| chemisches Abscheiden aus der Gasphase | |||
| CVD; Foto-CVD n; chemische Dampfabscheidung | |||
| Русский тезаурус | |||
| |||
| получение твёрдых веществ с помощью химических реакций, в которых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурированных покрытий, монокристаллов, эпитаксиальных и монокристаллических плёнок напр., в планарной технологии, нитевидных монокристаллов "усов", барьерных слоев предотвращающих разрушение покрытий на соплах ракет, при изготовлении различных изделий сложной конфигурации и др. Большой Энциклопедический словарь | |||
| химическое осаждение из газовой фазы: 22 фразы в 2 тематиках |
| Микроэлектроника | 21 |
| Техника | 1 |