 |
| |||
| sputter etching; backsputtering | |||
| травление методом распыления: 13 фраз в 6 тематиках |
| Медицина | 2 |
| Микроэлектроника | 2 |
| Нанотехнологии | 2 |
| Средства массовой информации | 1 |
| Экология | 1 |
| Электроника | 5 |
|
| |||
| sputter etching; backsputtering | |||
| травление методом распыления: 13 фраз в 6 тематиках |
| Медицина | 2 |
| Микроэлектроника | 2 |
| Нанотехнологии | 2 |
| Средства массовой информации | 1 |
| Экология | 1 |
| Электроника | 5 |