| |||
reactive ion etching; reactive-ion etching; RIE (Reactive Ion Etch/Etching pansypras) | |||
reactive ion milling | |||
ion-assisted plasma etching |
реактивное ионное травление: 18 фраз в 6 тематиках |
Микроэлектроника | 4 |
Нанотехнологии | 7 |
Общая лексика | 1 |
Средства массовой информации | 1 |
Техника | 3 |
Электроника | 2 |