 |
| |||
| plasma-enhanced CVD | |||
| plasma chemical vapor deposition | |||
| plasma-assisted activated CVD (CVD — chemiclal vapor deposition); plasma-CVD (CVD — chemiclal vapor deposition) | |||
| plasma enhanced chemical vapor deposition | |||
| |||
| plasma enhanced chemical vapour deposition (Belllka) | |||
| плазмохимическое осаждение из паровой фазы: 1 фраза в 1 тематике |
| Микроэлектроника | 1 |