 |
| |||
| «master slice» approach (заготовка типовых фотошаблонов БИС и модификация рабочих фотошаблонов для металлизации в зависимости от функционального назначения кристалла БИС) | |||
| master-slice approach; master slice approach (заготовка типовых фотошаблонов БИС и модификация рабочих фотошаблонов для металлизации в зависимости от функционального назначения кристалла БИС) | |||
| метод базового кристалла: 8 фраз в 2 тематиках |
| Микроэлектроника | 5 |
| Электроника | 3 |