| |||
| сухе травлення (Процес травлення в газовій фазі, за допомогою фізичної і/або хімічної реакції реактивного газу або плазми) | |||
|
dry etching : 3 фразы в 1 тематике |
| Микроэлектроника | 3 |
| |||
| сухе травлення (Процес травлення в газовій фазі, за допомогою фізичної і/або хімічної реакції реактивного газу або плазми) | |||
|
dry etching : 3 фразы в 1 тематике |
| Микроэлектроника | 3 |