 |
| |||
| покрытие ступеньки | |||
| сглаживание ступеньки | |||
| ступенчатое нанесение плёнок (каждый последующий слой по площади меньше предыдущего; поперечное сечение готовой структуры имеет ступенчатую форму) | |||
|
step coverage : 3 фразы в 2 тематиках |
| Микроэлектроника | 2 |
| Электроника | 1 |