| |||
| технология изготовления ИС с самосовмещением | |||
| технология ИС с самосовмещением (изготовления); технология изготовления ИС с самосовмещением | |||
|
self-aligned technology : 11 фраз в 5 тематиках |
| Макаров | 1 |
| Микроэлектроника | 2 |
| Средства массовой информации | 2 |
| Техника | 4 |
| Электроника | 2 |