scattering with angular limitation projection electron-beam lithography | technique

technique
общ.	техническое оборудование; способ выполнения; техническое оснащение; владение специальными приёмами; техническое мастерство
мед.	оборудование; аппаратура; процедура
тех.	алгоритм; технический приёмщик

- найдены отдельные слова