 |
| |||
| плазменное травление (процесс травления с использованием в качестве травителя облака ионизированного газа) | |||
| плазменное травление | |||
| плазмохимическое травление (управляемое селективное удаление материала с помощью химически активных ионов и радикалов в низкотемпературной плазме низкого давления) | |||
| |||
| плазменное травление (процесс травления с использованием в качестве травителя облака ионизированного газа) | |||
| плазмохимическое травление (управляемое селективное удаление материала с помощью химически активных ионов и радикалов в низкотемпературной плазме низкого давления) | |||
|
plasma etching : 49 фраз в 6 тематиках |
| Макаров | 2 |
| Микроэлектроника | 16 |
| Нанотехнологии | 13 |
| Промышленность | 1 |
| Техника | 13 |
| Электроника | 4 |