 |
| |||
| пластинчатый диэлектрический волновод, сформированный осаждением тонкоплёночного диэлектрического материала на подложку (например, волновод с периодически изменяемой шириной осаждённого чипа оптической ИС так, что обеспечивается распространение требуемых мод и подавление остальных) | |||