| тех. |
технология с переменный профилем примесей (изготовления полупроводниковых приборов); технология изготовления полупроводниковых приборов с модулируемым профилем примесей; технология изготовления полупроводниковых приборов с переменным профилем примесей; технология с модулируемым профилем примесей; технология с переменным профилем примесей |
