| лазер. |
установка для выращивания методом лазерно-стимулированного газофазного химического осаждения; установка для выращивания наноструктур методом лазерно-стимулированного химического осаждения из газовой фазы; установка для выращивания наноструктур методом лазерно-стимулированного химического осаждения из паровой фазы |
