Английский ⇄ Русский Украинский +

fine-pattern geometry ударения
микроэл.	геометрия микроструктур с элементами уменьшенных размеров
тех.	геометрия ИС с элементами уменьшенного размера
эл.	геометрия ИС с элементами уменьшенных размеров