Английский ⇄ Русский +

e-beam writing ударения
микроэл.	электронно-лучевое экспонирование (OlgaGast)
нано.	электронно-лучевая запись; электронно-лучевой перенос изображения с шаблона на пластину (с резистом); запись электронным пучком