 |
| |||
| PE (Plasma Etch/Etching pansypras) | |||
| plasma-phase etching | |||
| plasma ashing | |||
| plasma etch (процесс травления с использованием в качестве травителя облака ионизированного газа); plasma etching (процесс травления с использованием в качестве травителя облака ионизированного газа) | |||
| plasma etch process; plasma etching process; plasma etching; plasma reactor etching | |||
| dry plasma etching | |||
| плазменное травление: 39 фраз в 6 тематиках |
| Макаров | 2 |
| Микроэлектроника | 14 |
| Нанотехнологии | 5 |
| Средства массовой информации | 2 |
| Техника | 11 |
| Электроника | 5 |