scattering with angular limitation projection electron-beam lithography | technique

technique
общ.	Methode; Technik; Einsatztechnik
полит.	Arbeitsweise
упак.	Verpackungsmethode; Verpackungstechnik
хим.	Technik; Verfahren
юр.	Verfahren
techniques
тех.	Mittel

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