 |
| |||
| ширина линии элемента микроструктуры (ИС); ширина линии элемента структуры (ИС); ширина линии элемента топологической структуры | |||
| топологическая проектная норма; минимальный топологический размер; ширина линии элемента структуры; ширина линии микроструктуры (ИС); ширина линии структуры (ИС) | |||