 |
| |||
| електронно-променева літографія (Yuriy Sokha); електроннопроменева електронна літографія; електронолітографія f (Альтернатива рентгенівській літографії; використовує електрони, забезпечує високу роздільну здатність і не вимагає фотошаблону.) | |||
|
electron- beam lithography : 5 do fraz, 1 tematyki |
| Mikroelektronika | 5 |