 |
| |||
| електроннопроменева електронна літографія; електронолітографія f (Альтернатива рентгенівській літографії; використовує електрони, забезпечує високу роздільну здатність і не вимагає фотошаблону.) | |||
|
electron lithography : 10 do fraz, 2 tematyki |
| Mikroelektronika | 8 |
| Naukowy | 2 |