 |
| |||
| ступенчатое нанесение плёнок (каждый последующий слой по площади меньше предыдущего; поперечное сечение готовой структуры имеет ступенчатую форму) | |||
| сглаживание ступеньки | |||
| покрытие ступеньки | |||
|
step coverage : 3 do fraz, 2 tematyki |
| Elektronika | 1 |
| Mikroelektronika | 2 |