 |
| |||
| травление методом распыления | |||
| точечная вытравка | |||
| реактивное травление (травление методом реактивного распыления key2russia) | |||
| ионно-плазменное травление; реактивное травление | |||
| травление распылением | |||
|
sputter etching : 12 do fraz, 7 tematyki |
| Elektronika | 4 |
| Makarowa | 1 |
| Mikroelektronika | 2 |
| Nanotechnologia | 1 |
| Publikatory środki masowego przekazu | 2 |
| Technika i technologia | 1 |
| Wojskowość | 1 |