 |
| |||
| реактивное распыление (метод изготовления плёночных ИС) | |||
| реактивное ионное распыление | |||
| реакционное напыление | |||
| реактивное напыление; реактивное распыление | |||
|
reactive sputtering : 4 do fraz, 3 tematyki |
| Elektronika | 1 |
| Nanotechnologia | 2 |
| Technika i technologia | 1 |