 |
| |||
| ионно-плазменное травление | |||
| реактивное ионное травление | |||
| |||
| реактивное ионное травление; РИТ (RIE – реактивное ионное травление key2russia) | |||
| Angielski tezaurus | |||
| |||
| RIE | |||
| RIE (IC) | |||
| |||
| RIE (pansypras) | |||
|
reactive ion etching : 10 do fraz, 3 tematyki |
| Mikroelektronika | 3 |
| Nanotechnologia | 4 |
| Technika i technologia | 3 |