| |||
ионно-плазменное травление | |||
реактивное ионное травление | |||
| |||
реактивное ионное травление; РИТ (RIE – реактивное ионное травление key2russia) | |||
Angielski tezaurus | |||
| |||
RIE | |||
RIE (IC) | |||
| |||
RIE (pansypras) |
reactive ion etching : 10 do fraz, 3 tematyki |
Mikroelektronika | 3 |
Nanotechnologia | 4 |
Technika i technologia | 3 |