Angielski ⇄ Rosyjski Ukraiński +

polysilicon self-aligned technology akcenty
mikr.	технология МОП ИС с самосовмещёнными затворами поликристаллического кремния
publ.	технология структур с самосовмещением затвора из поликремния
techn.	технология МОП ИС с самосовмещёнными поликремниевыми затворами (изготовления); технология изготовления МОП ИС с самосовмещёнными поликремниевыми затворами