![]() |
| |||
| плазмохимическое травление (управляемое селективное удаление материала с помощью химически активных ионов и радикалов в низкотемпературной плазме низкого давления) | |||
| плазменное травление (процесс травления с использованием в качестве травителя облака ионизированного газа) | |||
| плазменное травление | |||
| |||
| плазмохимическое травление (управляемое селективное удаление материала с помощью химически активных ионов и радикалов в низкотемпературной плазме низкого давления) | |||
| плазменное травление (процесс травления с использованием в качестве травителя облака ионизированного газа) | |||
|
plasma etching : 49 do fraz, 6 tematyki |
| Elektronika | 4 |
| Makarowa | 2 |
| Mikroelektronika | 16 |
| Nanotechnologia | 13 |
| Przemysł | 1 |
| Technika i technologia | 13 |