Angielski ⇄ Rosyjski Ukraiński +

fine-pattern geometry akcenty
elektron.	геометрия ИС с элементами уменьшенных размеров
mikr.	геометрия микроструктур с элементами уменьшенных размеров
techn.	геометрия ИС с элементами уменьшенного размера