Angielski ⇄ Rosyjski +

e-beam writing akcenty
mikr.	электронно-лучевое экспонирование (OlgaGast)
nanot.	электронно-лучевая запись; электронно-лучевой перенос изображения с шаблона на пластину (с резистом); запись электронным пучком