Angielski ⇄ Chiński Niemiecki Rosyjski Ukraiński +

direct-write electron-beam lithography akcenty
elektron.	электронно-лучевая литография с непосредственным формированием изображений
mikr.	электронно-лучевая литография с непосредственным формированием рисунка
publ.	бесшаблонное электронно-лучевое экспонирование