Angielski ⇄ Rosyjski Ukraiński +

direct step-on-wafer system akcenty
mikr.	установка прямой проекционной литографии с последовательным шаговым
publ.	установка проекционного пошагового репродуцирования уменьшенных изображений схем непосредственно на полупроводниковой пластине (без матричного фотошаблона)
direct "step-on-а-wafer" system
elektron.	установка проекционного пошагового репродуцирования уменьшенных изображений схем непосредственно на полупроводниковой пластине (без использования матричного фотошаблона)