Angielski ⇄ Chiński Rosyjski Ukraiński +

deep-uv lithography akcenty
elektron.	фотолитография с источником дальнего УФ-излучения
mikr.	литография в глубоком ультрафиолете
deep-UV lithography
mikr.	фотолитография на глубоком ультрафиолете (key2russia); фотолитография на жёстком ультрафиолете (key2russia)
publ.	фотолитография на глубоком жёстком ультрафиолете